OHT天车与AMR搬运机器人的协同应用。

AMR机器人 68℃ 0

晶圆厂是使用自动化材料处理系统(AMHS)的自动化工厂。高架芯片运输车(OHT)系统广泛用于将8/12英寸晶圆盒(开放式盒子/foup)从一套设备运输到另一套设备。

AMHS的运输一般分为Interbay和Intrabay,由OHS负责Interbay,inter bay作为工艺区间的运输系统。而OHT+AMR负责Intrabay,它目前不仅用于工艺区内的运输,还用于工艺区之间或工厂之间的运输。

要在整个工厂实现OHT覆盖,AMHS系统的成本将非常高。(简单估算一下,8英寸的AMHS约1000万美元,12英寸的AMHS约3000万美元。)在中国大陆的晶圆厂中,使用OHT的晶圆厂屈指可数。这也是对工厂IE规划的极大考验。

因此,罗杰系统专门从事半导体晶圆搬运机器人,与FAB工厂的OHT合作,即OHT in 空与地面AMR配合,全面实现全厂物料自动化搬运,综合性价比较高。目前,陀螺机器人已与多家OHT厂商(MURatec、MiRle等)展开合作。)实现FAB车间的对接与合作,将提高半导体工厂自动化生产的效率。

 

OHT天车负责空中轨高速传动作业,利用AMR实现地面高度灵活高效作业,STOCKER与OHT之间,AMR与EQ无死角无盲区连接,真正实现FAB车间无人化自动化生产。

 

关于?捷螺系统股份有限公司

 

罗杰系统(苏州)有限公司/罗杰系统有限公司(台湾省)专注于智能机器人、物联网和工业4.0系统的研发,以满足智能工厂/无人工厂中高效灵活的转移搬运、设备状态监控和跟踪定位的需求。

基于市场需求,我们成功推出了:

智能无轨晶圆搬运机器人、智能无轨臂机器人和车队调度管理系统。

射频识别电子货架

实施定位监控系统。

工业物联网应用,无线传感器标签和位置标签。

公司愿景:

成为智能自主行走机器人(AMR)、工业物联网和室内定位系统(RTLS)的领先制造商。

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